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结构组成：涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理：

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

特点：抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空极限真空：10-6/ 10-10torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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